产品中心
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研发型印刷电子
工业型印刷电子
微纳米加工及薄膜沉积
显微镜及镀膜仪
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➱ 可调至35um-500um束斑
➱ 大气压无需真空无需掩模
➱ 脑机接口神经微电极处理
➱ 40度超低温多功能表面处理

35um微束大气压等离子表面处理仪
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➱ DGLD激光玻璃直写沉积
➱ 可塑性超强的增材技术
➱ 兼容微尺度到宏观尺度
➱ 极高粗糙度及高性价比

微尺度激光熔融玻璃3D打印机
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➱ 台式无掩模直写
➱ 业内性价比极高
➱ 多个读写头配置
➱ 简单好用易上手

台式无掩膜激光直写光刻机
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➱ 最小加工线宽可到0.4um
➱ 多层套刻精度可到0.5um
➱ 365nm+405nm双波长可选
➱ 256阶及65,536阶灰度光刻

DMD高速高分辨无掩模直写光刻系统
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➱ 全球知名微纳加工中心选择
➱ 直写光刻领域历史悠久品牌
➱ 独特的平行四读写头设计
➱ 灵活可定制化大面积选择

Microtech无掩模直写光刻系统
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➱ 一致化学计量比
➱ 低温沉积超精准薄厚
➱ 超高沉积速率
➱ 超广材料范围

Noivion高能电离射流薄膜沉积系统
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➱ 低地球轨道LED空间
➱ 原子氧辐照效应研究
➱ 航天材料测试
➱ 空间科学研究

Noivion AtOx脉冲放电原子氧发生器
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➱ 纳米到微米级高分辨跨尺度
➱ 无支撑自由成形/零重力效应
➱ 可打印纯金属: Cu, Au, Ni, Ag, Pt
➱ 无需特殊环境无需黄光无需热处理

Exaddon电化学沉积微纳米3D打印机
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➱ 新一代超高速ALD技术
➱ 原位复合ALD+PVD
➱ 原位制备多层纳米薄膜
➱ 可升级PEALD等离子增强

Swiss Cluster ALD超高速原子层沉积系统
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➱ 新一代高速ALD技术
➱ 原位复合ALD+PVD
➱ 原位制备多层纳米薄膜
➱ 可升级PEALD等离子增强

Swiss Cluster ALD/PVD原位复合原子层沉积系统
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➱ 新一代超高速ALD技术
➱ 原位复合ALD+PVD
➱ 原位制备多层纳米薄膜
➱ 可升级PEALD等离子增强

Swiss Cluster工业级超高速ALD原子层沉积系统
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➱ 玻璃3D打印
➱ 飞秒微纳加工
➱ SLE选择激光刻蚀
➱ 德国Lighfab技术

德国Lightfab 3D飞秒激光微纳加工系统(玻璃3D打印机)
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➱ 等离子表面处理
➱ 桌面式设计性价比高
➱ 性能稳定做工优良
➱ RIE反应刻蚀

iPlasma多功能等离子表面处理仪
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➱ 磁控溅射镀膜
➱ 有机物低温金属沉积
➱ 电子束蒸镀
➱ 热蒸发

英国Korvus多模块复合薄膜沉积系统
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➱ 大于5000mm2/min效率
➱ 可达0.5um刻写线宽精度
➱ 可达0.5um校准对位精度
➱ 最大可加工到12英寸尺寸

高速高分辨无掩模直写光刻机
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➱ 皮秒短脉冲PLD薄膜沉积
➱ 源头遏制微粒及飞溅现象
➱ PulseLion全固态锂电技术
➱ LISA锂硫电池项目技术

Pulsedeon脉冲激光薄膜沉积系统
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