业内最主流的全系列柔性印刷电子工艺
从实验室研发无缝对接到自动化产业化工艺
创新的微纳米光刻及多种不同的PVD薄膜沉积工艺
新型显微镜测试表征产品及业内最畅销的离子溅射镀膜仪
低成本无污染且赋予电子器件独特的柔性,延展性及功能可扩展性
创新的OLED, MicroLED的RGB喷印,TFE封装及其他功能层喷印技术
柔性可穿戴器件能实现人工智能,人体实时交互等智能电子技术
微纳米光刻,创新ALD沉积, IC芯片3D互联互通及键合封装技术
柔性印刷工艺制备柔性大面积低成本的有机,钙钛矿,新能源光伏
创新柔性印刷工艺使万物互联和智能包装时代更快照进现实中
➱ 全球首创皮秒超短脉冲 ➱ 源头遏制微粒及飞溅现象 ➱ PulseLion全固态锂电独家技术 ➱ LISA锂硫电池项目独家技术
➱ 台式无掩模直写 ➱ 业内性价比极高 ➱ 多个读写头配置 ➱ 简单好用易上手
➱ 全球知名微纳加工中心选择 ➱ 直写光刻领域历史悠久品牌 ➱ 独特的平行四读写头设计 ➱ 灵活可定制化大面积选择
➱ ➱ ➱ ➱
➱ 大于5000mm2/min效率 ➱ 最优0.5um刻写线宽精度 ➱ 可达0.5um校准对位精度 ➱ 最大可加工到12英寸尺寸
➱ 磁控溅射镀膜 ➱ 有机物低温金属沉积 ➱ 电子束蒸镀 ➱ 热蒸发
➱ Sputter多靶磁控溅射 ➱ Evaporator多源热蒸发 ➱ PLD激光脉冲沉积 ➱ 多种镀膜工艺一体化
➱ 台式对准光刻机 ➱ 业内性价比极高 ➱ 搭配多个光学物镜 ➱ 性能稳定易上手
➱ 基于PDMS制备3D微流控 ➱ 实验室科研及产业大规模 ➱ 相对传统2PP性价比极高 ➱ 广泛应用微电子及生物
➱ 等离子清洗,活化,改性 ➱ 桌面式设计性价比高 ➱ 性能稳定做工优良 ➱
➱ 基于玻璃3D复杂微器件 ➱ 加工精度小于1um ➱ 表面精细度优于10nm ➱ 深宽比优于500比1