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法国Microlight Microfab-3D双光子聚合打印机
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SmartPrint基于DMD无掩模直写光刻工艺, 在保证稳定可靠性下提供作业产率, 大大减少了半导体器件试作的周期时间!此系统为桌面型紧凑型设计, 在保证高性能同时节省空间且性价比高, 精选的物镜工作范围可达3cm, 使系统可兼容除硅片外更多非标衬底如不平的, 柔性的, 和厚的, 完全符合微纳米加工及柔性器件制备的预期!使用称为DMD的显示元件,通过与平台完全同步的ON/OFF控制,在晶片上直接绘制图案。因为不需要试制照片掩模所花的时间和费用,所以可以提高半导体及其他电子器件的试制效率。

MicroFAB-双光子聚合3D纳米光刻机是一款紧凑、高分辨率交钥匙型3D打印机。双光子聚合3D纳米光刻机基于双光子聚合(TPP)激光直写技术, 兼容多种高分子材料,包括生物材料。MicroFAB-3D纳米光刻机帮助您以亚微米的分辨率生产出复杂的微部件,  MicroFAB-3D的特征尺寸可低至0.2um宽, 为微流体、微光学、细胞培养、微机器人或元材料领域开辟了新的前景。MicroFAB-3D具有开放性和适应性,可以满足您的个性需求。

MicroFAB双光子聚合激光直写3D纳米光刻机关键特性:

•较高的直写精度和分辨率(<200nm), 直写速度快
•兼容任何CAD模型和文件
•兼容广泛的聚合物, 光刻胶, 生物相容性材料, 生物材料
紧凑的设计, 性价比高


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