TEM MEMS加热+偏置样品架结合了Hummingbird Scientific蜂鸟科技的内部微细加工MEMS芯片、直接电触点和闭环温度控制，为TEM内部的原位加热和电偏置创造了一个稳定的平台。样品直接安装在MEMS芯片上，并使用无螺钉加载机制插入支架，实现了快速、可重复的实验设置。‍

在操作过程中，MEMS微加热器可提供高达1000°C以上的温度，而片上4点电阻传感可实现闭环温度控制，实现稳定的实时成像和分析。加热+偏置MEMS芯片支持同时进行热和电刺激，而偏置MEMS芯片在不需要加热时将所有九个触点专用于电测量。双倾斜配置增加了由专用倾斜软件控制的高精度β倾斜，使衍射、晶体学和分析原位TEM实验能够精确定位样品。