LightFab 3D基于飞秒激光且特别用于透明玻璃的微纳 米加工系统; 可用于微流体学, 微力学, 集成光学和其 他需要高精度3D微结构的应用, 及3D聚合物微结构的 多光子聚合, 3D波导写入, 玻璃晶体3D光刻, 选择性激 光诱导蚀刻, 玻璃内部焊接和精密微观结构切除。

SLE选择性激光诱导3D刻蚀是一种新的激光微纳加工 技术, 可用于包括由空腔, 微通道, 甚至精密微机械运 动部件的透明材料的微纳尺度3D复杂结构快速制造; SLE工艺主要分两步：第一步超短脉冲激光聚焦到 1pm焦点, 对透明材料永久性3D改性, 这种激光改性 是无裂缝, 精度高且速度快; 第二步通过湿法刻蚀进 行显影除去改性材料. SLE的石英玻璃选择刻蚀比大于 500:1, 使得可制备小锥度长细通道的复杂3D结构。